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物探与化探, 2024, 48(6): 1684-1692 doi: 10.11720/wtyht.2024.0208

方法研究·信息处理·仪器研制

基于MEMS的槽波地震仪的研制

赵朋朋,

中煤科工西安研究院(集团)有限公司,陕西 西安 710077

Development of a MEMS-based seismograph for in-seam wave seismic exploration

ZHAO Peng-Peng,

CCTEG Xi'an Research Institute(Group) Co.,Ltd.,Xi'an 710077,China

第一作者: 赵朋朋(1983-),男,2020年硕士毕业于煤炭科学研究总院,主要从事煤矿井下地震勘探技术与装备的研究工作。Email:308517775@qq.com

责任编辑: 叶佩

收稿日期: 2024-05-9   修回日期: 2024-11-7  

基金资助: 国家自然科学基金项目(42074175)

Received: 2024-05-9   Revised: 2024-11-7  

摘要

当前,槽波地震数据采集通常是使用矿用数字地震仪配合动圈检波器来实现的,但是这种数据采集系统存在频带宽度窄、装备量大的问题。为了提高数据质量和施工效率,利用MEMS加速度计的微型化、频带宽等优势,将其集成于槽波地震仪的采集卡钟,设计得到了槽波地震仪。该地震仪可以实现独立型激发,分布式采集,频带宽度达到1~800 Hz,采集数据的质量得到一定程度的提升;单个仪器质量仅为0.52 kg,且集成化的设计使地震仪完全摆脱了线缆的束缚,100道观测系统配备仪器总质量仅为52 kg,是分布式地震仪总质量的10%,是节点式地震仪的25%,装备总质量的下降降低了运输成本,提高了施工效率。

关键词: 槽波; 地震仪; MEMS; 加速度计

Abstract

Currently,seismic data acquisition of in-seam waves is typically performed using mine-orientated digital seismographs combined with moving coil geophones.However,such conventional data acquisition system suffers from narrow frequency bandwidths and bulky equipment.To improve data quality and construction efficiency,this study designed a single-channel seismograph for in-seam wave exploration by incorporating a microelectromechanical system(MEMS) accelerometer,with the advantages of wide frequency bandwidth and miniaturization,into the acquisition card.The developed seismograph allows for independent excitation and distributed acquisition,with frequency bandwidths ranging from 1 to 800 Hz,resulting in improved data quality.A single seismograph weighs only 0.52 kg,and the integrated design completely eliminates the constraints of cables.The total weight of the 100 channel observation system is only 52 kg,representing only 10% of the weight of a distributed seismograph and 25% of that of a nodal seismograph system.The reduction in the overall weight contributes to both reduced transportation costs and enhanced construction efficiency.

Keywords: in-seam wave; seismograph; MEMS; accelerometer

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本文引用格式

赵朋朋. 基于MEMS的槽波地震仪的研制[J]. 物探与化探, 2024, 48(6): 1684-1692 doi:10.11720/wtyht.2024.0208

ZHAO Peng-Peng. Development of a MEMS-based seismograph for in-seam wave seismic exploration[J]. Geophysical and Geochemical Exploration, 2024, 48(6): 1684-1692 doi:10.11720/wtyht.2024.0208

0 引言

我国地震勘探已经有近70年的发展历史,在这70年中,地震仪经历了从光点地震仪到全数字遥测地震仪的发展历程[1-2],应用于槽波地震勘探的地震仪经历了与地面地震仪类似的发展历程[3],但还未实现全数字采集。到目前为止,井下数字地震仪仍然是数字地震仪配合模拟检波器(动圈检波器)的工作模式[4]。但是动圈检波器由于工作原理的原因,采集性能有一定局限性,具体表现如下:

1)槽波地震勘探的信号频率在较薄煤层中可达到450~500 Hz,甚至更高[5]。动圈检波器为高通型检波器,在低频段信号存在衰减甚至无法接收,在高频段,灵敏度存在一定程度的非线性衰减,而且会受到假频的影响且难以消除[6]。虽然大部分矿用数字地震仪的频带宽度都可以达到1 kHz以上,但是配套使用的动圈检波器在一定程度上限制了其采集能力[7];

2)矿用数字地震仪通常分为分布式地震仪和节点式地震仪[8]。前者组建一套系统需要主机、采集站、检波器之间的通讯线缆、用于人员通讯的通讯设备及线缆等,整个系统装备量大,需要人员多、运输成本高、且故障率高等;节点式地震仪的装备总量有明显下降,但采集站与检波器之间仍然需要线缆连接,而且动圈检波器本身重量相对较大。所以不管是分布式地震仪还是节点式地震仪,在装备总量及施工工艺方面仍有很大提升空间[9]

2000年前后,MEMS(micro-electro-mechanical system)技术开始应用于地面地震勘探领域,其代表为美国ION公司研制生产的VectorSeis系列MEMS数字检波器[10]和法国Sercel公司研制生产的DSU系列MEMS数字检波器,MEMS数字检波器的关键器件为MEMS加速度计[11-12]。数字检波器频带范围宽,谐振频率以内(低通型)数据采集基本无假频、灵敏度无衰减[13];单个检波器的重量轻,可减少线缆,使得装备总量急剧下降,施工效率也得到提升[14]

MEMS是一种微机电系统[15]。MEMS加速度计前端敏感器件为4个差动电容[16]质量块—弹簧—阻尼组成的二阶系统。当有震动信号时,质量块会发生位移,导致质量块—反馈定齿间的电容发生变化,通过检测电容变化即可测量出加速度大小,经DSP抽取、滤波形成数字记录[17]

所以,本文拟将MEMS加速度计引入到槽波地震勘探中,研制一套基于MEMS的槽波地震仪。

1 基于MEMS的槽波地震仪设计

基于MEMS的槽波地震仪采用节点式遥测地震仪的思路进行设计,整个系统包含4个部分,分别为:传感部分、采集部分、时钟同步部分和电源部分。传感部分采用MEMS加速度计,其频带宽度为1~800 Hz,利用MEMS加速度计体积小、重量轻的优势,将其集成在采集板上,可以摆脱线缆的束缚,真正做到“零”线缆,从而最大限度地减少重量;采集部分将模拟信号数字化并按指定格式存储在存储单元中;时钟同步部分通过GPS授时、晶振守时的方式实现;由于仪器是应用于煤矿井下,所以必须满足GB 3836.1—2010《爆炸性环境第1部分:设备通用要求》和 GB 3836.4—2010《爆炸性环境第4部分:由本质安全型“i”保护的设备》的相关规定[18]。基于MEMS的槽波地震仪原理如图1所示。

图1

图1   基于MEMS的槽波地震仪原理框图

Fig.1   Principle block diagram of a MEMS-based single-channel seismograph for in-seam wave exploration


该地震仪可以实现独立型激发,分布式采集。通过GPS对该地震仪进行校时,使用温补晶振保证时钟精度;MEMS加速度计将震动信号转换为电压信号,经A/D转换为数字信号后再进行实时存储,最后通过以太网与PC机进行交互。

1.1 MEMS加速度计的选型

MEMS加速度计最重要的参数包括带宽、噪声参数、量程等。经过多方调研对比,最终选择了AS1002加速度计,该加速度计是高性能电容式MEMS加速度计,采用了高性能ASIC与MEMS传感器组成闭环系统,噪声、动态范围、非线性、重复性、温度漂移、抗冲击等性能优越。AS1002为模拟差分输出,支持片内温度补偿和非线性补偿,带宽为1~1 000 Hz(-3 dB),噪声谱密度为0.9 μg/√Hz,量程为±2 g,其封装尺寸为8.9 mm×8.9 mm,重量约为1 g,参数可以满足槽波地震勘探的需求。

1.2 采集电路的设计

由于AS1002加速度计边长仅为8.9 mm,所以可以将其集成在电路板上进行数据采集。AS1002加速度计输出差分模拟信号,经过A/D进行模数转换后通过CPU实时送入存储单元进行存储。

采集模块分为低通滤波电路、程控放大器电路、A/D采集电路和数字滤波电路。MEMS加速度计的差分信号通过低通滤波器做初步调理,滤除高频噪声,通过程控放大器对其进行放大,送入A/D采集电路实现信号数字化。数字化后的信号通过SINC、FIR和IIR滤波器对数据整形抽样,得到最终的信号通过SPI接口送入CPU进行保存。A/D芯片采样率默认设置为4 kHz,最大输入信号为(±2.5 V)。

CPU采用的是STM32F103系列芯片,其功能较为强大。该芯片内核基于高性能的ARM CorteX-M4型的32 位微控制器,主频最高可达72 MHz,内置高速存储(512 kB Flash 和64 kB SRAM),可实现单周期的乘除法运算。该芯片还包括5个串口、2个IIC接口、3个SPI接口等,接口和资源丰富,可实现多种数据的传输,并且工作温度为-40~105 ℃,可以适应煤矿井下复杂的使用环境。

AD芯片所选型号为ADS1282,是一款32位模数转换器,具有PGA可调、可编程放大器的特点,其原理如图2所示;该芯片分辨率较高,250 SPS时可达到130 dB,输入信号可以达到纳伏级;工作温度为-40~85 ℃;其电源为1.8~3.3 V,总谐波失真为-122 dB;SINC、FIR和IIR滤波器可以以不同方式组合达到不同的滤波效果;功耗较低,工作时最高25 mW,最低17 mW,非工作模式为0.09 mW。因此可以用于煤矿井下槽波地震勘探。

图2

图2   ADS1282系统框图

Fig.2   System block diagram of ADS1282


1.3 本安电源的设计

基于MEMS的槽波地震仪采用数字系统和模拟系统完全隔离的设计。采用隔离DC—DC电源,完全隔离数字系统和模拟系统供电,最大限度地避免数字电路对模拟采样的干扰。采集模块和CPU之间的通信接口采用磁隔离芯片进行隔离,如图3所示。通过使用两级电源管理芯片对输出电流进行限制,该芯片输出电流可通过反馈输入电阻对最大输出电流进行控制,使电源电路满足本质安全电路要求。供电使用两串一并磷酸铁锂电池,输出电压为6.4 V,为了同时满足功耗和低噪声的要求,数字部分电源采用DC—DC电源芯片,该芯片的转换效率较高,可达到90%,大大减少了电源系统耗散功率,模拟部分采用凌特公司生产的LDO芯片供电,满足模拟部分电源对噪声的要求。

图3

图3   本安电源电路

Fig.3   Circuit diagram of intrinsically safe power supply


该电源管理芯片内置RON为100 MΩ的开关FET,可承受±40 V的输入电压,可以调节过压或过流器件。芯片预设内部OVLO门限为33 V(典型值),预设内部UVLO门限为19.2 V(典型值)。 IC还具有高达4.2 A的可编程限流保护功能。电流达到门限时,连续保持限流。此外,器件具有反向电流保护和热关断保护。 IC采用小尺寸、14引脚TSSOP (5 mm×6.5 mm)封装,工作在-40~85 °C温度范围,可以适应煤矿井下复杂的使用环境。

1.4 时钟系统的设计

基于MEMS的槽波地震仪可以做到独立型触发,对震源激发时间不做约束,通过事先对所有仪器进行GPS对时,然后使用各自内置的晶体振荡器保证时钟精度,并在指定时刻由秒脉冲触发进入采集模式。

其原理如图4所示,GPS接收到信号后每秒会输出一个宽1 ms的秒脉冲,接收到秒脉冲后,STM32通过自锁触发器关闭分频器,时钟芯片暂停工作。下一个秒脉冲到来时,自锁触发器打开,将时钟信息写进时钟芯片,此时晶体振荡器开始作为同步源标准来保证时钟精度。

图4

图4   时钟系统原理框图

Fig.4   System block diagram of clock system


授时芯片选用瑞士U-BLOX的LEA-M8T精密授时模块,其电气连接如图5所示。该授时模块可以产生精确度小于20 ns的精密参考时钟,其接收器配合辅助GNSS功能可提供-157 dBm的信号采集,灵敏度较高。LEA-M8T长和宽为17.0 mm×22.4 mm,占位面积较小,且功耗较低,适合集成化的地震仪的授时要求。

图5

图5   LEA-M8T电气连接

Fig.5   Electrical connection diagram of LEA-M8T


该模块具有信号敏感、授时快、精度高的特点,并可在恶劣气候下实现单卫星授时。此后的时钟保持通过频率为50 MHz,频差为±25 PPM数字温度补偿晶振完成,以达到要求的守时精度。

1.5 下位机软件的设计

基于MEMS的槽波地震仪共分为5个工作模式,分别为:休眠模式、待机模式、对时模式、采集模式和数据交互模式,操作逻辑如图6所示,具体如下:

图6

图6   基于MEMS的槽波地震仪的操作逻辑框图

Fig.6   The operational logic block diagram of a MEMS-based single-channel seismograph for in-seam wave exploration


1)在具有GPS信号的情况下,开机即自动进入授时状态;

2)通过PC机对每台设备进行必要的参数配置,如采样频率、开始采集时间、采集时长等,完成后可以进入休眠模式;

3)将设备安装到指定位置,由休眠模式进入待机模式,按照设定的开始采集时间然后进入采集模式;按照指定采集时长采集完成后,设备进入休眠模式(在采集过程中随时可以停止采集,然后进入休眠);

4)将设备回收到地面,用网线连接PC机,设备进入数据交互模式,将数据传输至PC机;等待数据传输完成,关闭电源。

1.6 外部结构及充电柜设计

传感部分、采集部分、时钟部分和电源部分的实物电路如图7所示。

图7

图7   基于MEMS的槽波地震仪电路板实物

Fig.7   Physical diagram of in-seam wave seismometer circuit board based on MEMS


电路板尺寸为8.5 cm×4.2 cm,本设计为默认z分量接收,图7a中红色椭圆框内为作为z分量的MEMS加速度计,图7a中红色方框中为预留的xy分量位置,如果需要三分量采集,则可以在预留位置添加相应的MEMS加速度计,如图7b所示。实际施工时只需在参数配置时选择单分量接收或三分量接收。经过测试,图7中电路板7.2 V供电的情况下,采集状态电流为90 mA左右,功耗相对较小。为保证不小于18 h续航时间,配备了2串1并的18 650电池组,其容量为2 500 mAh左右。

外部结构的设计需要保证电路板与电池仓的空间及耦合状态,同时,因为基于MEMS的地震仪采用锚杆耦合的方式,外部需兼顾与锚杆的耦合效果,因此外部结构设计了锚杆转接装置,如图8所示。

图8

图8   仪器结构设计

Fig.8   Structural design drawing of the seismograph


此外,为了尽可能地减少数据采集前后的操作从而提高施工效率,外部结构还将充电、GPS天线连接以及与网线连接都设计成为了触点式接口。图8a展示的是按键及指示灯一侧,其中共有3个按键和两个指示灯,按键可以开关机、选择工作模式。图8b展示的触点一侧,可以通过触点与授时模块、交换机、充电机连接。

将充电器、交换机、授时模块内置于充电柜体内,柜体设计了21个设备仓,设备放置在柜体中,通过触点连接,如图9所示。

图9

图9   充电柜实物

Fig.9   Physical picture of charging cabinet


该充电柜具有以下特点:

1)可以容纳21台MEMS地震仪,并实现充电;

2)内置的授时模块可以实现上电即搜星,搜星成功后只要设备处于开机状态即可实现授时;

3)PC端可以通过触点与21台设备批量连接并配置参数或下载数据;

4)多个充电柜之间可以通过网线连接;

5)方便设备的储存、运输等。

1.7 技术指标

基于MEMS的槽波地震仪的主要技术参数如下:

1)带道能力:单站单道(或3通道),无限扩展;

2)采集方式:独立工作、连续采集、自动存储;

3)核心传感部件:MEMS加速度计;

4)采集分辨率:32位A/D;

5)采样间隔:最小间隔0.25 ms;

6)频带宽度:1~800 Hz;

7)存储能力:0.25 ms采样,连续记录至少80 h;

8)工作时间:不小于18 h(电池供电);

9)重量:0.52 kg。

2 基于MEMS的槽波地震仪的性能测试

原理样机试制完成后,在实验室对其进行了测试,包括振动台测试以及守时精度测试。

2.1 振动台测试

试验用仪器与设备:丹麦B&K振动传感器校准系统:4 808振动台、3 160数采前端、2 692电荷放大器、2 719功率放大器。使用单频点测试的方法,测试结果见表1

表1   基于MEMS的槽波地震仪灵敏度

Table 1  Sensitivity of a MEMS-based single-channel seismograph for In-seam wave exploration

频率/Hz加速度/(m·s-2)灵敏度/(mV·m·s-2)偏差/%
50.5178-3.26
105182-1.09
165184参考点
2051840
4051840
6051840
805179-2.72
1005176-4.35
1205175-4.89
1405173-5.98
1605170-7.61
1805168-8.70
2005165-10.33
3005156-15.22
5005142-22.83
10005147-20.11
20005156-15.22

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表1可知,该加速度计在200 Hz以内灵敏度相对稳定,200~800 Hz之间灵敏度稍微有下降,但是衰减控制在20%以内。

幅频曲线如图10所示。

图10

图10   幅频曲线图

Fig.10   Amplitude frequency curve graph


图10可知,由于振动台的起振频率为5 Hz,所以在5 Hz附近灵敏度有测量值,10 Hz附近开始趋于稳定,10~550 Hz灵敏度值较为平直,550~800 Hz灵敏度稍有下降。

由上述测试可知,基于MEMS的槽波地震仪在800 Hz以内频率响应较好,保持着较高的灵敏度,尤其是在500 Hz以内,灵敏度保持较高的水准。

2.2 仪器重量对比

井下地震仪按照施工方式的不同大致可以分为分布式和节点式两种。分别以48道、96道为例,对比3种地震数据采集系统的重量(重量单位为kg)见表2

表2   不同模式地震仪重量对比

Table 2  Weight comparison of seismographs in different modes

某分布式地震仪某节点式地震仪MEMS
单位重量48道总重96道总重单位重量48道总重96道总重单位重量48道总重96道总重
中央控制站2222220.5224.9649.92
采集站2.764.8129.63.251.2102
电源箱
中继站2.72.7
检波器3.3158.4316.80.419.238.4
检波器大线1.625.651.2
网络数据线121212
同步触发2.72.72.70.60.60.6
发爆机0.50.50.50.80.80.80.50.5
合计263.1483.697.4193.225.4650.42

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以走向长1 000 m的工作面槽波透射探测为例,如果按照10 m道距,则需要大约100道。分布式地震仪重量大约483.6 kg,节点式地震仪为193.2 kg。而基于MEMS的槽波地震仪重量为50 kg左右,仅仅是分布式地震仪的10%,约是节点式地震仪的25%。重量的大幅减少,最直接的影响就是运输成本的降低、人员数量的减少,同样可以减少仪器故障率,提高施工效率的效果显著。

2.3 时钟精度测试

测试条件:温度25±3℃;

测试方法:随机抽取3台基于MEMS的槽波地震仪数据采集系统进行对时,试验累计走时时长为10 h,在采集期间每隔1 h给仪器一个锤击信号,观察波形起跳时间t。每次锤击前给一套YTZ3矿用地震仪授时,使其接收同一个锤击信号,以该仪器记录信号的时间为基准时间T,对比MEMS地震数据采集系统每次采集信号的时间t和基准时间T,观察每台仪器的走时误差。试验完毕后导出数据,计算出每台地震仪不同时段的走时误差。

测试结果:经过10 h的测试,每台仪器的走时误差基本呈线性增长,3台仪器中10 h走时误差最大为14个样点即2.5 ms,最小为9个样点即2.25 ms,满足道间走时误差在工作时间内不大于4 ms的要求。测试趋势如图11所示。

图11

图11   样点误差趋势

Fig.11   Sample error trend


3 试验效果

本次现场试验为槽波反射+槽波透射探测的对比试验,试验对比仪器为中煤科工西安研究院(集团)有限公司自主研发的YTZ3矿用地震仪,配合使用气囊式孔中动圈检波器,检波器自然频率为60 Hz,其中,在相对应的孔中也布置了基于MEMS的槽波地震仪,前者布置在孔底,后者布置在距孔口约50 cm的位置。

由于原理样机数量较少,本次井下原始记录对比均为共接收点道集,两种检波器道号修改为一致。选取第88道共接收点道集槽波透射数据进行比较,单道记录如图12所示。

图12

图12   第88道透射槽波记录与频散特征对比

Fig.12   Energy analysis of the 88th channel transmission in-seam wave


图12a图12b分别为动圈检波器和MEMS地震仪接收到的共接收点道集。图12c图12d分别为动圈检波器信号及MEMS地震仪信号的频散曲线,图中黑色曲线为理论群速度曲线,红色区域为能量相对较强的频率成分,蓝色区域为能量相对较弱的频率成分,黄色为过渡颜色。

试验工作面内存在断层DF14,断距0~34 m,风巷和机巷掘进过程中均有揭露,已经基本控制。MEMS及其对应的动圈检波器布置在风巷测线中间部位,位于DF14断层左侧。机巷的7个炮点11~18号(14号未放炮)位于DF14断层右侧。由图12a图12b可知,接收到的7个炮点(11~18号)的能量明显要弱于其他炮点,且波场较为杂乱,槽波连续性较差,说明在这些射线路径上遇到了异常地质体的遮挡,从而能量减弱,为典型的槽波能量异常。基于MEMS的槽波地震仪记录能够反应透射槽波的波形特点。

图12c图12d的频散曲线可以看出,动圈检波器接收信号的主要能量分布在140~280 Hz之间,而MEMS信号在90 Hz附近开始能量变强,一直延续到430 Hz附近,表明与动圈检波器接收相同信号时,保留的高频成分更多,且低频成分也相对丰富。

4 结论与讨论

煤矿井下槽波地震勘探震源特性、施工环境、运输条件、通讯条件与地面地震勘探相去甚远,一款能够适用井下震源特性且具有高度便携性的槽波地震仪显得很有必要。本论文将MEMS加速度计引入到槽波地震勘探,研制了煤矿井下基于MEMS的槽波地震仪,该地震仪具有以下特点:

1)满足本安防爆的要求,首次将MEMS加速度计引入到煤矿井下,并将其集成于地震仪内部,可在软件和硬件上选择单通道采集或三通道采集,可实现独立工作、连续采集、连续记录;

2)真正实现了“零”线缆,摆脱了检波器大线、充电线缆、网线等线缆,因此,设备附件大幅减小,重量大幅下降,100道设备重量是分布式地震仪总重的10%,是节点式地震仪的25%,提高了施工效率;

3)以MEMS加速度计作为传感部分,接收信号带宽提高、信号质量得到了提升。

作为核心传感器件的MEMS加速度计的性能指标对于地震仪采集的数据质量也起着至关重要的作用。近年,国产MEMS加速度计的各项性能指标会有明显提高,短期内可以实现全数字输出,使得噪声水平、频带宽度等参数也会相应提高。如果能够实现,基于MEMS的槽波地震仪将在槽波地震勘探,乃至以割煤机割煤的震动信号为震源的随采地震及以掘进机掘进的震动信号为震源的随掘地震等勘探中发挥重要作用。

致谢

感谢中煤科工西安院(集团)有限公司的张广忠研究员、王季研究员在仪器设计、测试等环节给与的指导和帮助。

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我国矿井物探技术及装备的发展现状与思考

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Zhang P S, Ou Y C, Li S L.

Development quo-status and thinking of mine geophysical prospecting technology and equipment in China

[J]. Coal Science and Technology, 2021, 49(7):1-15.

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李渊.

新型煤矿井下单分量无缆地震仪研制

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The development of a single-component non-cable seismograph in underground coal mines

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于浩淼. INOVA三分量数字检波器VectorSeis应用研究[D]. 西安: 西安石油大学, 2014.

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赵会彦. MEMS数字检波器结构与原理研究[D]. 西安: 西安石油大学, 2014.

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汪永青. MEMS地震检波器中低压低功耗放大器的研究与设计[D]. 北京: 中国地质大学(北京), 2019.

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Wang Y Q. Research and design of low voltage and power consumption amplifier in MEMS geophones[D]. Beijing: China University of Geosciences(Beijing), 2019.

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魏继东.

模拟与数字检波器记录精度对比及其对信噪比的影响

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Wei J D.

Comparison of recording accuracy between analog geophone and MEMS accelerometer and their influence to the S/N ratio

[J]. Progress in Geophysics, 2018, 33(4):1726-1733.

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毕克飞. 408ul和428xl地震仪器原理分析及其兼容性的应用[D]. 西安: 西安石油大学, 2014.

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Bi K F. 408ul and 428xl seismic instrument principle analysis and its application in the compatibility[D]. Xi’an: Xi’an Shiyou University, 2014.

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韩晓泉.

MEMS数字检波器简介及指标分析

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本文简要介绍了MEMS数字检波器的发展历史、工作原理、应用领域。重点对用于石油地震勘探的MEMS数字检波器进行了指标分析,并就一些比较容易混淆的概念进行了解释。

Han X Q.

Brief introduction on MEMS digital geophone and its specifications

[J]. Equipment for Geophysical Prospecting, 2013, 23(6):351-355.

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This paper introduced the history,operating principle and application of the MEMS in brief.The key specifications and some confusing questions of MEMS for geophysical prospecting application are described too.

王怀秀, 仇帅, 朱国维, .

基于MEMS与LwIP的煤矿三分量地震数据采集系统

[J]. 煤田地质与勘探, 2021, 49(4):8-14.

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Wang H X, Qiu S, Zhu G W, et al.

Three-component seismic data acquisition system of coal mine based on MEMS and LwIP

[J]. Coal Geology & Exploration, 2021, 49(4):8-14.

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张怀榜, 于静, 陈吴金, .

三分量数字检波器电磁干扰产生的机理研究

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Zhang H B, Yu J, Chen W J, et al.

The principle research of the electromagnetic noise generated by three digital sensor units

[J]. Petroleum Instruments, 2011, 25(1):30-32,102.

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江浩.

MAX14571在矿用本质安全电源中的应用

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Jiang H.

Application of MAX14571 in mining intrinsically safe power

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