基于MEMS的槽波地震仪的研制
赵朋朋

Development of a MEMS-based seismograph for in-seam wave seismic exploration
ZHAO Peng-Peng
表1 基于MEMS的槽波地震仪灵敏度
Table 1 Sensitivity of a MEMS-based single-channel seismograph for In-seam wave exploration
频率/Hz 加速度/(m·s-2) 灵敏度/(mV·m·s-2) 偏差/%
5 0.5 178 -3.26
10 5 182 -1.09
16 5 184 参考点
20 5 184 0
40 5 184 0
60 5 184 0
80 5 179 -2.72
100 5 176 -4.35
120 5 175 -4.89
140 5 173 -5.98
160 5 170 -7.61
180 5 168 -8.70
200 5 165 -10.33
300 5 156 -15.22
500 5 142 -22.83
1000 5 147 -20.11
2000 5 156 -15.22